Высокоэффективные
установки для плазменной
обработки низкого давления
от производителя
За 1 минуту подберите необходимую установку
и получите уникальное ценовое предложение
Беспроблемной эксплуатации
Более 30 поставленных единиц

Гарантия до 3 лет

Цена напрямую от производителя

Постоянное тех. обслуживание
лет
Оставьте заявку
на обратный звонок и мы свяжемся
с вами в ближайшее время
Получите коммерческое предложение на установки
Оставьте заявку и мы свяжемся
с вами в ближайшее время
Оставьте заявку
на консультацию и мы свяжемся
с вами в ближайшее время
Преимущества наших установок
Технология изготовления
рабочей камеры
Камера изготавливается из цельного
алюминиевого блока путем
прецизионной механической
обработки (лапинг-процесс),
с последующей ультразвуковой
чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме,
по сравнению с камерами
из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой
сварки, и повышает качественные
характеристики процесса
плазменной обработки.
+
+
+
+
+
+
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Установки могут иметь до 4 газовых
линий с автоматическими РРГ (MFC),
в зависимости от конфигурации
(использование хлорной химии
не допускается). Каждая установка
оснащается линиями продувки
и напуска (азот, СDA, атмосферный
воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok.
+
+
+
+
+
Газовые линии
+
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Инновационный дизайн подачи газа
в камеру обеспечивает равномерный
поток газа во время процесса
обработки, тем самым формируя
равномерное распределение
плазмы в объеме рабочей камеры.
+
+
+
+
+
Система подачи газа
+
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Установки плазменной обработки
Femto Science полностью
соответствует требованиям
европейского союза
в области безопасной эксплуатации.
+
+
+
+
+
Европейские стандарты
качества
+
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Цветной сенсорный дисплей 7"
и доступное программное обеспечение,
с возможностью создания и хранения
до 10 рецептов, графическое
отображение рабочих параметров
в режиме реального времени (давление,
мощность, время обработки и т.д.)
и перенос данных на USB-флешку - все
это не требует наличия специальных
навыков персонала при работе
с установкой, будь это инженер
или студент университета
+
+
+
+
+
Информационный дисплей
+
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Благодаря возможности плазменной
обработки в различных газовых средах,
таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот
генератора плазмы (20 - 100 кГц),
а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается
широкий спектр применения данных
установок для задач научно-
исследовательских центров
или промышленного производства.
+
+
+
+
+
Широкий спектр
применения
+
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Технология изготовления
рабочей камеры
Камера изготавливается из цельного
алюминиевого блока путем
прецизионной механической
обработки (лапинг-процесс),
с последующей ультразвуковой
чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме,
по сравнению с камерами
из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой
сварки, и повышает качественные
характеристики процесса
плазменной обработки.
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Установки могут иметь до 4 газовых
линий с автоматическими РРГ (MFC),
в зависимости от конфигурации
(использование хлорной химии
не допускается). Каждая установка
оснащается линиями продувки
и напуска (азот, СDA, атмосферный
воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok.
Газовые линии
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Инновационный дизайн подачи газа
в камеру обеспечивает равномерный
поток газа во время процесса
обработки, тем самым формируя
равномерное распределение
плазмы в объеме рабочей камеры.
Система подачи газа
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Установки плазменной обработки
Femto Science полностью
соответствует требованиям
европейского союза
в области безопасной эксплуатации.
Европейские стандарты
качества
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Цветной сенсорный дисплей 7"
и доступное программное обеспечение,
с возможностью создания и хранения
до 10 рецептов, графическое
отображение рабочих параметров
в режиме реального времени (давление,
мощность, время обработки и т.д.)
и перенос данных на USB-флешку - все
это не требует наличия специальных
навыков персонала при работе
с установкой, будь это инженер
или студент университета
Информационный дисплей
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Благодаря возможности плазменной
обработки в различных газовых средах,
таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот
генератора плазмы (20 - 100 кГц),
а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается
широкий спектр применения данных
установок для задач научно-
исследовательских центров
или промышленного производства.
Широкий спектр
применения
+
+
+
+
+
+
Установки плазменной обработки
для широкого спектра направлений
Благодаря возможности плазменной обработки в различных газовых средах, таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот генератора плазмы (20 - 100 кГц), а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается широкий спектр применения данных установок для задач
научно-исследовательских центров или промышленного производства.
Микроэлектроника, наноэлектроника

Снятие фоторезиста

Оптоэлектроника

Производство печатных плат

Плазменная очистка

Плазменная активация поверхности

Научно-исследовательские
центры и лаборатории

Обработка поверхности перед cваркой, пайкой, заливкой
Предварительная обработка перед нанесением лакового покрытия, клеящих веществ

Создания гидрофильных (притягивающих воду)/ гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий

Обработка 2D и 3D материалов

Приборы на основе графена

Микрофлюидика

Биоинженерия

Тканевая инженерия

Медицина
Установки плазменной обработки для широкого спектра направлений
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
CUTE
Настольная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм

Материал рабочей камеры:
алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий; Ø100 х 200 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр

Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления: атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COVANCE
COGRADE
COWIN
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
COVANCE
Профессиональная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только
для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COGRADE
COWIN
CUTE
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
COGRADE
Установка плазменной обработки низкого давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COGRADE
COWIN
CUTE
COVANCE
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
COWIN
Установка плазменной обработки, изготовленная под индивидуальные требования
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COGRADE
COWIN
CUTE
COVANCE
Каталог плазменных установок
COVANCE
CUTE
CUTE
COVANCE
COVANCE
COGRADE
COGRADE
COWIN
COWIN
CUTE
Настольная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм

Материал рабочей камеры:
алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий; Ø100 х 200 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр

Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления: атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COVANCE
Профессиональная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только
для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COGRADE
Установка плазменной обработки низкого давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COGRADE
Установка плазменной обработки низкого давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 5 лет
COWIN
Установка плазменной обработки, изготовленная под индивидуальные требования
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 3 лет
COWIN
COWIN
Установка плазменной обработки, изготовленная под индивидуальные требования
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр

Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 5 лет
Лучшее соотношение цены и
качества на рынке России и СНГ
Скачайте подробное коммерческое предложение с характеристиками
и стоимостью плазменных установок прямо сейчас
Скачайте подробное коммерческое предложение с характеристиками и стоимостью плазменных установок прямо сейчас
Лучшее соотношение цены и качества на рынке России и СНГ
Почему более 30 компаний
сотрудничает только с нами