Высокоэффективные
установки для плазменной
обработки низкого давления
от производителя
установки для плазменной
обработки низкого давления
от производителя
За 1 минуту подберите необходимую установку
и получите уникальное ценовое предложение
и получите уникальное ценовое предложение
Беспроблемной эксплуатации
Более 30 поставленных единиц
Гарантия до 3 лет
Цена напрямую от производителя
Постоянное тех. обслуживание
Гарантия до 3 лет
Цена напрямую от производителя
Постоянное тех. обслуживание
лет
Оставьте заявку
на обратный звонок и мы свяжемся
с вами в ближайшее время
с вами в ближайшее время
Получите коммерческое предложение на установки
Оставьте заявку и мы свяжемся
с вами в ближайшее время
с вами в ближайшее время
Оставьте заявку
на консультацию и мы свяжемся
с вами в ближайшее время
с вами в ближайшее время
Преимущества наших установок
Технология изготовления
рабочей камеры
рабочей камеры
Камера изготавливается из цельного
алюминиевого блока путем
прецизионной механической
обработки (лапинг-процесс),
с последующей ультразвуковой
чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме,
по сравнению с камерами
из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой
сварки, и повышает качественные
характеристики процесса
плазменной обработки.
алюминиевого блока путем
прецизионной механической
обработки (лапинг-процесс),
с последующей ультразвуковой
чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме,
по сравнению с камерами
из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой
сварки, и повышает качественные
характеристики процесса
плазменной обработки.
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Установки могут иметь до 4 газовых
линий с автоматическими РРГ (MFC),
в зависимости от конфигурации
(использование хлорной химии
не допускается). Каждая установка
оснащается линиями продувки
и напуска (азот, СDA, атмосферный
воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok.
линий с автоматическими РРГ (MFC),
в зависимости от конфигурации
(использование хлорной химии
не допускается). Каждая установка
оснащается линиями продувки
и напуска (азот, СDA, атмосферный
воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok.
Газовые линии
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Цветной сенсорный дисплей 7"
и доступное программное обеспечение,
с возможностью создания и хранения
до 10 рецептов, графическое
отображение рабочих параметров
в режиме реального времени (давление,
мощность, время обработки и т.д.)
и перенос данных на USB-флешку - все
это не требует наличия специальных
навыков персонала при работе
с установкой, будь это инженер
или студент университета
и доступное программное обеспечение,
с возможностью создания и хранения
до 10 рецептов, графическое
отображение рабочих параметров
в режиме реального времени (давление,
мощность, время обработки и т.д.)
и перенос данных на USB-флешку - все
это не требует наличия специальных
навыков персонала при работе
с установкой, будь это инженер
или студент университета
Информационный дисплей
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Благодаря возможности плазменной
обработки в различных газовых средах,
таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот
генератора плазмы (20 - 100 кГц),
а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается
широкий спектр применения данных
установок для задач научно-
исследовательских центров
или промышленного производства.
обработки в различных газовых средах,
таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот
генератора плазмы (20 - 100 кГц),
а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается
широкий спектр применения данных
установок для задач научно-
исследовательских центров
или промышленного производства.
Широкий спектр
применения
применения
1
2
3
4
5
6
Преимущества наших установок
Технология изготовления
рабочей камеры
рабочей камеры
Камера изготавливается из цельного
алюминиевого блока путем
прецизионной механической
обработки (лапинг-процесс),
с последующей ультразвуковой
чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме,
по сравнению с камерами
из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой
сварки, и повышает качественные
характеристики процесса
плазменной обработки.
алюминиевого блока путем
прецизионной механической
обработки (лапинг-процесс),
с последующей ультразвуковой
чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме,
по сравнению с камерами
из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой
сварки, и повышает качественные
характеристики процесса
плазменной обработки.
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Установки могут иметь до 4 газовых
линий с автоматическими РРГ (MFC),
в зависимости от конфигурации
(использование хлорной химии
не допускается). Каждая установка
оснащается линиями продувки
и напуска (азот, СDA, атмосферный
воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok.
линий с автоматическими РРГ (MFC),
в зависимости от конфигурации
(использование хлорной химии
не допускается). Каждая установка
оснащается линиями продувки
и напуска (азот, СDA, атмосферный
воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok.
Газовые линии
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Инновационный дизайн подачи газа
в камеру обеспечивает равномерный
поток газа во время процесса
обработки, тем самым формируя
равномерное распределение
плазмы в объеме рабочей камеры.
в камеру обеспечивает равномерный
поток газа во время процесса
обработки, тем самым формируя
равномерное распределение
плазмы в объеме рабочей камеры.
Система подачи газа
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Установки плазменной обработки
Femto Science полностью
соответствует требованиям
европейского союза
в области безопасной эксплуатации.
Femto Science полностью
соответствует требованиям
европейского союза
в области безопасной эксплуатации.
Европейские стандарты
качества
качества
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Цветной сенсорный дисплей 7"
и доступное программное обеспечение,
с возможностью создания и хранения
до 10 рецептов, графическое
отображение рабочих параметров
в режиме реального времени (давление,
мощность, время обработки и т.д.)
и перенос данных на USB-флешку - все
это не требует наличия специальных
навыков персонала при работе
с установкой, будь это инженер
или студент университета
и доступное программное обеспечение,
с возможностью создания и хранения
до 10 рецептов, графическое
отображение рабочих параметров
в режиме реального времени (давление,
мощность, время обработки и т.д.)
и перенос данных на USB-флешку - все
это не требует наличия специальных
навыков персонала при работе
с установкой, будь это инженер
или студент университета
Информационный дисплей
+
+
+
+
+
+
Преимущества наших установок
Благодаря возможности плазменной
обработки в различных газовых средах,
таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот
генератора плазмы (20 - 100 кГц),
а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается
широкий спектр применения данных
установок для задач научно-
исследовательских центров
или промышленного производства.
обработки в различных газовых средах,
таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот
генератора плазмы (20 - 100 кГц),
а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается
широкий спектр применения данных
установок для задач научно-
исследовательских центров
или промышленного производства.
Широкий спектр
применения
применения
+
+
+
+
+
+
Установки плазменной обработки
для широкого спектра направлений
для широкого спектра направлений
Благодаря возможности плазменной обработки в различных газовых средах, таких как O2, Ar, H2, CF4, SF6
и регулируемому диапазону частот генератора плазмы (20 - 100 кГц), а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается широкий спектр применения данных установок для задач
научно-исследовательских центров или промышленного производства.
и регулируемому диапазону частот генератора плазмы (20 - 100 кГц), а также использование ВЧ-генератора
с частотой 13,56 МГц, достигается широкий спектр применения данных установок для задач
научно-исследовательских центров или промышленного производства.
Микроэлектроника, наноэлектроника
Снятие фоторезиста
Оптоэлектроника
Производство печатных плат
Плазменная очистка
Плазменная активация поверхности
Научно-исследовательские
центры и лаборатории
Обработка поверхности перед cваркой, пайкой, заливкой
Снятие фоторезиста
Оптоэлектроника
Производство печатных плат
Плазменная очистка
Плазменная активация поверхности
Научно-исследовательские
центры и лаборатории
Обработка поверхности перед cваркой, пайкой, заливкой
Предварительная обработка перед нанесением лакового покрытия, клеящих веществ
Создания гидрофильных (притягивающих воду)/ гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий
Обработка 2D и 3D материалов
Приборы на основе графена
Микрофлюидика
Биоинженерия
Тканевая инженерия
Медицина
Создания гидрофильных (притягивающих воду)/ гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий
Обработка 2D и 3D материалов
Приборы на основе графена
Микрофлюидика
Биоинженерия
Тканевая инженерия
Медицина
Установки плазменной обработки для широкого спектра направлений
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
CUTE
Настольная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий; Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления: атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 100 х 100 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий; Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления: атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COVANCE
COGRADE
COWIN
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
COVANCE
Профессиональная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры: 200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры: 200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только
для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только
для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COGRADE
COWIN
CUTE
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
COGRADE
Установка плазменной обработки низкого давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COGRADE
COWIN
CUTE
COVANCE
Каталог плазменных установок
CUTE
COGRADE
COVANCE
COWIN
COWIN
Установка плазменной обработки, изготовленная под индивидуальные требования
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COGRADE
COWIN
CUTE
COVANCE
Каталог плазменных установок
COVANCE
CUTE
CUTE
COVANCE
COVANCE
COGRADE
COGRADE
COWIN
COWIN
CUTE
Настольная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий; Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления: атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 100 х 100 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры: 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий; Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления: атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COVANCE
Профессиональная установка плазменной обработки низкого давления
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COGRADE
Установка плазменной обработки низкого давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COGRADE
Установка плазменной обработки низкого давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 5 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 5 лет
COWIN
Установка плазменной обработки, изготовленная под индивидуальные требования
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 3 лет
COWIN
COWIN
Установка плазменной обработки, изготовленная под индивидуальные требования
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр
Газовые линии:Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 5 лет
Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 5 лет
Лучшее соотношение цены и
качества на рынке России и СНГ
качества на рынке России и СНГ
Скачайте подробное коммерческое предложение с характеристиками
и стоимостью плазменных установок прямо сейчас
и стоимостью плазменных установок прямо сейчас
Скачайте подробное коммерческое предложение с характеристиками и стоимостью плазменных установок прямо сейчас
Лучшее соотношение цены и качества на рынке России и СНГ
Почему более 30 компаний
сотрудничает только с нами
сотрудничает только с нами
Цены ниже без потери качества, напрямую
от производителя
от производителя
Мы являемся эксклюзивным дилером компании Femto Science, поэтому вы получите оборудование по самым низким ценам.
82% клиентов остаются довольными от нашего предложения, благодаря грамотному подбору сложного оборудования и предоставления
лучших условий
лучших условий
01
Цена
Широкий спектр оборудования
как для
Дополнительно имеем возможность изготавливать оборудование с применением опций
сверх стандартной комплектации
сверх стандартной комплектации
Полный цикл взаимодействия
с заказчиком
с заказчиком
Начиная от подбора оборудования и решения, до фактической поставки, подключения, пуско-наладки, инструктажа и последующего обслуживания оборудования как в течение гарантийного так и постгарантийного срока.
Высококвалифицированный инженерно-технический персонал
Обеспечим грамотный подбор сложного оборудования исходя из Ваших задач и потребностей, Вашего текущего парка оборудования и инфраструктуры предприятия
научно-исследовательских целей, так и для промышленных задач
02
Выбор
03
Персонал
04
Сервис
Почему более 30 компаний
сотрудничает только с нами
сотрудничает только с нами
Непревзойденные гарантии,
прописанные в договоре
прописанные в договоре
Пожалуй, только в "ЗЭНКО ПЛАЗМА" вы получаете
максимальное юридическое преимущество
максимальное юридическое преимущество
Для каждого покупателя мы проводим
инструктаж и обучение специалистов.
После монтажа тестируем на ваших
производственных задачах.
инструктаж и обучение специалистов.
После монтажа тестируем на ваших
производственных задачах.
Вы получите быструю и бережную
доставку оборудования полностью
за наш счет. Мы доставляем
оборудование по всей России и СНГ
доставку оборудования полностью
за наш счет. Мы доставляем
оборудование по всей России и СНГ
Получите
полный каталог
установок плазменной
обработки
полный каталог
установок плазменной
обработки
Оставьте заявку
и получите каталог
и получите каталог
Вы получите всю актуальную информацию по каждому оборудованию, включая тех. характеристики и комплектацию
Вместе с лучшими
ценами на рынке РФ
ценами на рынке РФ
Получите полный каталог
установок плазменной обработки
установок плазменной обработки
Лучшее подтверждение качества нашей работы -
это довольные клиенты
это довольные клиенты
ПОРТФОЛИО
01 / 05
Заказчик: АО «НИИграфит»
ПОРТФОЛИО
02 / 05
В 2019 году Заказчик АО «НИИграфит» приобрел у нас установку Covance 2MPR-RF. Установка предназначена для плазмохимической очистки и активации поверхностей полимерных и керамических подложек высокочастотной плазмой в инертных газах, кислороде и газовых смесях для получения гидрофильности.
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
Заказчик: Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова
В 2019 году мы подобрали и реализовали для «Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова установку CUTE-2MPR, которая идеально подошла для решения задачи по снятию фоторезиста с поверхности заготовки для печатной платы.
ПОРТФОЛИО
03 / 05
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
Заказчик: ФГБОУ ВО "МГУ ИМ. Н.П. ОГАРЁВА"
В 2018 году мы выполнили проекта по поставке ФГБОУ ВО "МГУ ИМ. Н.П. ОГАРЁВА" установки CUTE-1MPR. В данном случае установка успешно используется для плазмохимической очистки пластин термокомпенсаторов из высокопрочных композиционных материалов.
ПОРТФОЛИО
04 / 05
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
В 2018 году "ЗЭНКО ПЛАЗМА" поставила "Нижнетагильскому институту испытания металлов" установку COWIN-2MPR-RF для реконструкции комплекса по производству полигонного измерительного оборудования. Оборудование предназначено для очистки от органических загрязнений, активации поверхности в среде инертных газов, травления, создания гидрофобных и гидрофильных покрытий, карбонизации, снятия и подчистки фоторезиста на ситалловых подложках и полиимидной пленке.
ПОРТФОЛИО
05 / 05
LET'S GO!
LET'S GO!
LET'S GO!
Заказчик: НИЖЕТАГИЛЬСКИЙ ИНСТУТУТ ИСПЫТАНИЯ МЕТАЛЛОВ
ZENCO PLASMA - партнер
крупнейших производителей
технологического оборудования
крупнейших производителей
технологического оборудования
В перечень ведущих партнеров нашей
компании в области технологического оборудования
входят такие производители как:
компании в области технологического оборудования
входят такие производители как:
Вы получите быструю и бережную
доставку оборудования полностью
за наш счет. Мы доставляем
оборудование по всей России и СНГ
доставку оборудования полностью
за наш счет. Мы доставляем
оборудование по всей России и СНГ
В перечень ведущих партнеров нашей компании в области технологического оборудования входят такие производители как:
Подберем оборудование
под ваши задачи
под ваши задачи
Оставьте заявку и наш специалист
свяжется с Вами для подбора оборудования
и озвучит уникальное предложение.
свяжется с Вами для подбора оборудования
и озвучит уникальное предложение.
Оставьте заявку и наш специалист
свяжется с Вами для подбора оборудования и озвучит уникальное предложение.
свяжется с Вами для подбора оборудования и озвучит уникальное предложение.
Остались вопросы?
Звоните на номер
Звоните на номер
105118, город Москва, улица Буракова, дом 27, корпус 3, эт.3, пом. IV, ком 39
Адрес:
105318 г. Москва ул. Ибрагимова, д.31, кор.47, кабинет 215
Высокоэффективные установки
для плазменной обработки
низкого давления от производителя
для плазменной обработки
низкого давления от производителя
