Установка плазменной обработки,
изготовленная под индивидуальные требования

Режим работы:
ручной или автоматический
Размер образцов: до 100 х 100мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 100 Вт (200 Вт опционально)
Размер установки: 580 x 610 x 350 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:
140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø100 х 200 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3 Торр

Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр

Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 200 Вт;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия;
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 5 лет