Профессиональная установка плазменной
обработки низкого давления

Режим работы:
ручной или автоматический
Размер образцов: до 150 х 150 мм
Частота генератора плазмы: 13.56 МГц
Мощность: до 200 Вт
Размер установки: 700 x 650 x 770 мм

Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:
200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;

Вакуумный насос:
Скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр

Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok

Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр

Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А

Дополнительные опции:
Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только
для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;

Гарантия: до 5 лет